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15、微振控制

15 微振控制15.1 一般規定15.1.1 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或

附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產品生產間／工序的火災危險性分類舉例

附錄B 電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例注：① 表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應按丙類設防，否則仍應按甲類設防。② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區總面積5%時，生產類別應為乙類設防。③ 光纜外皮采用發泡塑

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

D.1 通 則D.1.1 潔凈室(區)應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。D.1.2 潔凈室(區)性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。D.1.3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內。D.1.4 潔凈室(區)的占用狀態應有空態、靜態

本規范用詞說明

1 為便于在執行本規范條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1)表示很嚴格，非這樣做不可的用詞正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”。2)表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的用詞.正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”。3)表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的

前言

中華人民共和國國家標準潔凈室施工及驗收規范Code for construction and acceptance of cleanroomGB 50591-2010主編部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部批準部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部施行日期：2 0 1 1 年 2 月 1 日中華人民共和國住房和城鄉建設部公 告第681號

1、總則

1.0.1 為在潔凈室及相關受控環境(第3章起簡稱潔凈室)的施工及驗收中，貫徹國家有關的方針政策，規范施工要求，統一檢驗方法，明確驗收標準，以保證施工和安裝質量，達到節能、節材、節水、保護環境和安全操作的目的，制定本規范。1.0.2 本規范適用于新建和改建的、整體和裝配的、固定和移動的潔凈室及相關受控環境的

2、術語

2.0.1 潔凈室及相關受控環境 cleanrooms and associated controlled environment潔凈室及其附屬的、輔助的、相聯系的開放或封閉的內部或周邊空間，該空間的懸浮微粒濃度等參數也受到符合相關標準的控制。2.0.2 單向流潔凈室 unidirectional airflow cleanroom由方向單一、流線平行并且速度均勻穩定的單向流

3、建筑結構

3.1 一般規定3.1.1 潔凈室結構工程施工前應編制施工組織設計或施工方案，并與潔凈室施工配合。3.1.2 在主體結構未經驗收前，不得進行后續工序的施工。3.2 結構施工要求3.2.1 裝配式混凝土結構的潔凈室，應在預制構件上按設計圖紙預留孔、洞。3.2.2 有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要